프로세스 온도 조절 장치
Cooling Power : 25.8kW ~ 46.7kW
Heating Power : 35kW ~ 50kW
생명공학 및 제약공학을 위한 -5 ~ 60°C의 고성능 온도 제어

-20 ~ 90 °C의 반도체 산업용 열전 공정 온도 조절 장치
정전 웨이퍼 척(ESC)의 온도를 동적으로 제어하며 모든 유형의 에칭 공정에 사용가능
LAUDA-Noah POU 열전 온도 제어 시스템은 펠티에 소자에 사용되는 확립된 열 전달 원리를 기반

콜드 오일 오버레이가 있는 폐쇄형 시스템을 위한 열매체유

반개방형/개방형 시스템을 위한 열매체유

온도 조절 장치의 안전하고 안정적인 작동을 위해 열매체유의 올바른 선택은 매우 중요합니다.

온도 조절 장치의 안전하고 안정적인 작동을 위해 열매체유의 올바른 선택은 매우 중요합니다.

-Working temperature range : 25 ... 80 °C
-Overall dimensions (WxDxH) : 280 x 280 x 100 mm
-Heater power max. 0.3 kW

-Working temperature range : 25 ... 100 °C
-Overall dimensions (WxDxH) : 342 x 400 x 180 mm
-Heater power max : 1 kW

• 자기 유도 측정 원리를 이용한 유량 제어 시스템
• 미리 방출된 열 전달 액체: 물/글리콜 혼합물
• 사용자 인터페이스를 통해 온도 제어 장치의 설정 및 제어 가능

터치패널 controller 적용 (Command touch panel)
External application 전용 제품
정밀한 온도 제어 및 안정도 +/-0.01'C
Circulation 기능 탑재 및 Pump Step 설정가능
온도 Program 설정 가능.

in research, application technology and production
ideal for use Viscometer PVS or iVisc

PB/ PBD/ PB C/ PBD C (~ 300'C)
for temperature control of any bath