-20 ~ 90 °C의 반도체 산업용 열전 공정 온도 조절 장치
정전 웨이퍼 척(ESC)의 온도를 동적으로 제어하며 모든 유형의 에칭 공정에 사용가능
LAUDA-Noah POU 열전 온도 제어 시스템은 펠티에 소자에 사용되는 확립된 열 전달 원리를 기반